고주파 플라즈마 CVD - high frequency plasma enhanced CVD

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

단차 피복성(step coverage)를 향상시키고 부착속도증대를 위해, 플라즈마의 밀도를 증가시킨 CVD. 플라즈마원으로써, ECR과 헬리콘파 등이 이용된다.