기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

고에너지 이온주입 장치 - high energy ion implanter

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
이온에너지(1개 이온)의 최대값이 250keV를 초과하는 이온주입장치.