HF 증기 세정장치 - HF vapor cleaning equipment

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

불화수소산 또는 불화수소와 알콜의 혼합액에서 발생된 증기로 Si 웨이퍼 표면에 자연산화막 등을 제거하는 장치. 특히 막성장공정의 전처리(前處理)에 이용된다.