HMDS도포 - hexamethy - disilazane coating

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트막과 웨이퍼와의 밀착성을 향상시키기 위한 처리. 특히, 포지티브형 레지스트와 산화막의 경우 효과가 현저하다. 일반적으로 HMDS*을 증기 상태로 하여 도포한다. *HMDS : (CH3)3SiNHSi(CH3)3