헬리콘파 식각장치 - helicon etching system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

자기장을 따라 전파되는 전자파의 일종인 헬리콘파와 전자의 상호작용(랜다우 감쇄)에 의해 생성되는 플라즈마를 이용한 플라즈마식각장치