헬리컬형 식각장치 - helical etching system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

유도결합 안테나가, 기둥 모양의 유전체 플라즈마생성실 주위를 둘러싼 코일인 유전결합형 플라즈마식각장치