열처리로 - heat treatment furnace

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

잉곳(ingot) 또는 웨이퍼를 열처리하기 위한 장치. 결정직경의 증대와 함께 웨이퍼 상태에서의 열처리가 주류를 이루고 있다. 저항가열히터와 노심관을 가로로 배치한 수평형로과 노심관 및 저항가열히터를 세로로 배치한 수직형로가 있다.