헤이즈 - haze

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

Si 웨이퍼의 외관검사에 사용되는 용어로, 웨이퍼를 스포트라이트로 조사할 대 웨이퍼 표면이 희게 보이는 표면상태, 또는 스포트라이트의 필라멘트상이 비치는 표면상태.