성장속도 - growth rate

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼 위에 단위시간당 성장한 막의 두께. 결정이 성장하는 것을 의미하기 때문에, 에피택셜성장법에서 사용된다.