흑연히터 어닐장치 - graphite heater annealer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

탄소(graphite)를 소결(sintering)한 것을 가열원(heater)으로 이용하여 웨이퍼를 단시간에 어닐하는 장치.