경사입사간섭계방식 - grading incidence interferometer method

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

측정하려는 물체 표면에 대해 프리즘 등을 사용하여 빛을 비스듬하게 투사하여, 이 반사광과 기준(reference)면에서의 반사광으로 형성된 간섭무늬에 의해, 표면의 평탄도(flatness), 휨를 측정하는 방법.