글로벌틸트 글로벌 레벌링 - global tilting global leveling

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼 전면을 한꺼번에 틸팅(tilting)하는 것. 주로 웨이퍼 전체에 테이퍼(taper)성분의 제거를 목적으로 한다.