글로벌정렬 - global alignment

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

스텝식 투영노광장치에 있어서, 위치정보에 의한 추정계산을 토대로 하여, 웨이퍼스테이지를 노광위치로 이동시키는 정렬방식.