글로벌 - global

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

주변부를 제외한 영역을 포함하는 웨이퍼의 전면. 이 영역을 대상으로 하는 평탄도를 글로벌 평탄도(global flatness)라고 한다.