유리 기판 글래스기판 - glass substrate

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

평탄하게 연마된 판상의 유리로써, 금속박막이 형성되지 않은 상태의 포토마스크 제조용 기판. 소다(soda)․석회유리(limeglass)․알루미늄․폴리실리케이트 유리(polysilicate glass)․석영유리 등이 사용된다.