게터링 - gettering

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

소자특성에서 유해한 영향을 주는 불순물, 중금속 또는 결함에 관여하고 있는 점결함 등을 제거하는 작용. 게터링을 하면, 웨이퍼표면의 소자영역에 소자를 형성할 때 청정화되어 결함을 줄이고, 소자특성과 소자제조의 효율을 향상시킬 수 있다.