가스정제장치 - gas purifier

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

가스 중에 함유된 잔류불순물농도를 ppt레벨까지 순화하는 장치. 수소의 정제에는 패러디움막수소가스순화기와, 저온흡착식이 있다. 불활성가스는, 합금게터링방식과 접촉흡착제방식이 있다.