기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
가스희석기 - gas dilution system
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
특수재료가스를, 캐리어가스로 연속해서 일정의 농도로 희석시키는 장치. 유량제어기(MFC)와 집적화 밸브를 이용하여, 100%의 가스를 1ppm 까지 희석하는 정밀가스 희석장치도 개발되고 있다.
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