프린지 - fringe

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트 도포된 마스크 블랭크의 코너부분에서 발생되는 레지스트의 후막영역. 기판을 회전시켜 레지스트를 도포하는 방법 때문에 생기지만, 도포 조건의 최적화에 의해, 이 후막영역이 없는 블랭크를 프리지리스(fringeless) 또는 프린지프리(fringe free)라고 부른다.

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