기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
푸리에변화적외분광법 FT - IR - Fourier transform infrared spectro - scopy
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
2광속(光束) 간섭곡선을 푸리에변환하여 스펙트럼을 구해, 실리콘웨이퍼 중의 산소, 탄소 등을 측정하는 방법.
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