가압매입 - force fill process

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

비아홀, 콘택홀에 스퍼터링법 등으로 Al배선을 할 때 발생되는 보이드(void)를 가열상태에서 Ar가스 등으로 압력을 주어 매입하는 방법.