FPD - focal plane deviation

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

흡착고정 등에 의해, 웨이퍼 표면을, 평탄하게 교정한 상태에서, 지정된 글로벌 표면기준면에서의, FQA내의 웨이퍼표면에서 최대거리.