FPD - flow pattern defect

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

as-grown의 Si 웨이퍼르 장시간(30분정도) Secco 에칭할 때에 보여지는, 특이한 플로우 패턴. grown-in결함의 일종이다.