플래트니스 테스터 평면도측정기 - fletness tester

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

기판의 평탄도를 측정하는 장치. 평탄도가 매우 높은 기준판(optical flat)과 프리즘을 피검사판과 평행하게 세팅하여, 레이저광선으로 얻어지는 간섭 골의 개수, 모양(간섭 골의 간극)에 의해 평탄도가 측정된다.