평탄도 - flatness

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

흡착고정 등에 의해 웨이퍼 뒷면을 평탄하게 교정한 상태에서, 정해진 기준면 또는 초점면에서의 편차량. 평탄도는 노광공정에 있어서 웨이퍼의 중요한 파라메터이다.