플래시램프 어닐장치 - flash lamp annealer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

크세논 플래쉬램프를 사용하여, 전력밀도 104～106W/㎠의 고에너지광을 웨이퍼에 조사하여, 수십 ㎛～ms의 단시간에 어닐링하는 장치. 넓은 면적을 한번에 어닐링할 수 있고, 불순물의 재분포(再分布)가 적다는 등의 특징이 있다.