막두께검사 - film thickness inspection

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

차광막과 반사 방지막 또는 레지스트막 등의 두께를 광학식 또는 접촉침 방식으로 측정하는 것. 보통, 기준치와의 비교에 의해 행해진다.