대향타겟형 스퍼터링 장치 FTS장치 - facing target sputtering system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

서로 마주보는(對向) 2개의 평판 음극의 중심축을 따라 자계가 형성된 마그네트론 스퍼터링장치. 전자는 마주보는 음극의 공간에 갇혀서 고밀도의 플라즈마를 발생하며, 자성체의 고속 스퍼터링에 유효하다.