마스크블랭크제조장치 - fabrication equipment for mask blank

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마스크 블랭크를 제조하기 위해, 세정․건조․박막형성․검사․레지스트 도포․베이킹(baking) 등을 행하는 장치의 총칭