익스터널게터링 외부게터링 EG - external gettering extrinsic gettering

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

Si 웨이퍼의 이면에 폴리싱으로 생긴 가공파괴층, 폴리실리콘의 코팅 등으로 생긴 왜곡층, 링거스층 등 Si 웨이퍼를 외부에서 만들어진 결함과 왜곡 등을 이용하여, 오염불순물과 점결함 등의 포획하는 게터링방법.