노광제어계 - exposure control system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

노광을 위한 제어계. 패턴데이터의 전송수단․기억수단․데이터변환수단(실시간)․묘화패턴의 발생수단 등의 하드웨어 및 이것들을 총괄 제어하는 소프트웨어로 이루어져 있다.