연소식배기처리장치 - exhaust gas abatement for incineration process

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

배기를 LPG 등의 조제에 의해 강제적으로 연소시켜, 유해성분을 연소분해하는 장치. 주로 물이나 약액으로 세정하는 것이 부적절한 가스(실란, 디클로로실란 등)의 제거에 이용된다.