공정용배기처리장치 - exhaust gas abatement equipment for processor

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

각종 CVD, 이온주입, 식각등의 반도체제조공정장치에서 배출된 독성가스를 무독화하는 장치. 처리방식에는 흡착제식과 연소식 등이 있다.

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