분해식배기처리장치 - exhaust gas abatement equipment by decom - position prosess

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

반도체제조장치 등에서 배출되는 유해가스를, 열분해 혹은 플라즈마분해시켜 무해화하는 장치. 현재, 플라즈마분해식은 유해가스를 허용농도 이하까지 무해화할 수 없다는 문제점이 있다.