기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
이면증착 억제 - exclusing backside deposition
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
웨이퍼 뒷면에 막이 성장하는 것을 막기 위한 구조. 금속 CVD 등으로 반응가스가 웨이퍼 뒷면에 휘어져 들어와 불완전하게 막이 성장하여, 박리에 의해 입자가 발생하기 때문에 이 방법을 이용한다.
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