증발원 - evaporation source

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

진공증착법에 있어서, 막의 재료가 되는 증발재료를 증발시키기 위한 가열원(加熱源). 저항가열증발원, 전자빔증발원, 유도가열증발원이 대표적인 증발원이다.