환경제어형주사전자현미경 - environmental scanning electron microscope

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

시료실을 저진공 10～2700Pa로 제어하고, 전자빔을 시료 위를 주사하여, 시료에 의해 발생하는 이차전자를 검출한 표면모양을 관찰기록하는 전자현미경.