에너지오염 - energy contaminat - ion

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

에너지가 원하는 수치보다 낮은 이온의 총칭. 이온과 잔류기체(중성입자)의 충돌에 의한 전하의 교환으로 만들어진 이온과, 분자이온이 분리되어 만들어진 이온이 원하지 않는 에너지로 되어 웨이퍼에 주입되는 것.