엔드 스테이션 - end - station

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼반송계, 로드, 언로드계, 주입실 등의 총칭. 웨이퍼디스크를 기계주사하는 배치처리방식과, 웨이퍼를 핸들링하여 플래틴(platen)으로 지지하고 주입하는 매엽식처리방식이 있다.