방사율보정 - emissivity correction

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

방사온도계에서 웨이퍼의 온도를 측정할 때, 측정값에 대하여 오차의 원인이 되는 측정점의 표면상태(막두께, 거칠음 등)에 의한 방사율의 변동을 보정하는 기구.