전자광학계 - eletron optics system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

스폿 또는 큰 형상의 전자빔을 기판 위에 집속(集束), 편향시켜 원하는 형상의 패턴 노광시키기 위한 시스템(係). 전자총, 전자 렌즈(lens), 편향기 등으로 구성되어 있다.