기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
ECR 식각장치 - eletron cyclotron resonance etching system
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
ECR(전자사이클로트론 공명)을 이용하여 웨이퍼를 식각하는 자기장마이크로파 식각장치.
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