기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

정전 척 - electrostatic chuck

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 11. 17 오후 3:00:00
시료대 위에 유전체층을 만들어, 시료대와 웨이퍼 사이에 전압을 걸어주어, 두 개 사이에 발생하는 쿨롱의 힘(정전기력)으로 흡착하는 척. 웨이퍼지지 및 온도제어를 위해 시료대, 반송장치등에 이용된다.