정전스캔 - electrostate scan

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

X편향판, Y편향판에 삼각파전압을 인가하여 이온빔을 X,Y방향으로 주사하여, 이온주입균일성을 얻는 주사방식. 편향판에 미리 DC 옵셋 전압을 인가하여, 이온빔이 잔류가스분자와 충돌하여 생기는 중성빔을 분리하는 트랩을 설계한다. 일반적으로 웨이퍼로의 조사각도를 스캔각이라고 부르지만, 그 중에서도 웨이퍼 끝부분과 이루는 각도를 지시각스캔(angular scan)의 지표로 하고 있다.

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