전자압축기 바이어스 - electron suppressor bias

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

이온빔이 타겟에 주입되는 과정에 있어서, 여러 가지 전극, 개구(aperture) 등에 충돌한다. 이 때, 발생하는 이차전자가 발생장소에서 외부로 새나가지 않도록 전기장, 또는 자기장을 걸어주는 기구.