전자프로브마이크로분석법 - electron probe micro analysis

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

시료에 살짝 접촉시킨 높은 에너지의 전자프로브를 조사(照射)하여 여기(excitation)되면 시료에서 특성 X선이 방사되고, 이 스펙트럼선의 파장 및 강도로부터 시료의 미소영역에서 정성분석 및 정량분석하는 방법.