전자 플러드건 - electron flood gun

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

이온주입 중에 발생하는 웨이퍼의 정전하 차지업(charge up)을 방지하기 위해, 저에너지의 전자를 웨이퍼에 공급하여 중화시키는 기구. 전자총, 전자샤워(electron shower)라고 한다.