기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
ERC 스퍼터링 장치 - electron coupling resonance sputtering system
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
마이크로파와 자기장를 걸어주어 전자 사이클로트론 공명방전하고, 플라즈마와 타겟전위를 독립적으로 제어하여 스퍼터링하는 장치.
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