전자빔 검사시스템 전자빔 프로버 - electron beam test system electron beam prober

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

반도체소자의 내부를 진단하기 위해 진공 중에 피측정디바이스의 배선에 전자빔을 조사하여, 이 부분에서 발생하는 이차전자의 에너지변화로부터 회로의 전압을 측정하는 비접촉의 시험장치.