전자빔묘화장치 - electron beam lithography system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

전자빔을 이용하여, 마스크 블랭크 위에 오리지널(원화) 패턴을 묘화하는 장치. 묘화방식으로써 라스터 스캔방식과 벡터 스캔방식이 있다.